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热烈祝贺中山市酷美电子参加SEMICON CHINA 2016圆满成功

发布时间:2016-03-23 13:59      发布人:admin  浏览量:5005

SEMICON CHINA 2016 3-17日在上海新国际博览中心落下帷幕。中山市酷美电子携公司射频电源及自动匹配器系列产品参展获得国内外商家的高度关注与认可。在半导体制造行业中,在生产芯片、处理器等半导体器件、薄膜太阳能电池、液晶等平板显示器过程中,都要用到这种电源。是产生等离子体的配套电源,由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中。

2008年以前射频电源技术主要掌握在美、日、德等少数国家的少数厂家中,如美国的AEAdvanced Energy)、MKSMKS Instruments)、日本的DAIHEN、德国的Huettinger等。

在八十年代末期我国虽然引进射频电源的技术,也尝试做过研发生产。但是由于关键技术无法突破,主要有(固态晶体管,自动匹配)等技术限制一直无法生产固态晶体管的射频电源及能够自动匹配的射频阻抗匹配器。这当中尤其以自动匹配更为重中之重。故我国的射频电源研发及应用一直停步不前。根本无法与国外的射频电源厂商竞争。

随着九十年代我国第一台固态晶体管诞生,但是射频自动匹配一直使我们无法突破的屏障。随着时间的转移2008年中山市格美电子研发出我国第一台国产射频自动匹配器。打破了外国厂商一直垄断的国内市场。随着这几年我们不断的完善与改进。K-Mate         射频电源及自动匹配器越来越多的出现在国内的实验及产线设备上。并获得国内许多知名企业及行业资深人士的认可。同时逐步销往一些东南亚国家。

2016我们整装待发,从国内走向国际市场



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