|
|
 |
|
 |
| 主要功能特性 |
| 频率 |
13.560MHz |
| 最大传输功率 |
1000w |
| 反射功率（最大功率时） |
<3w |
| 最大负荷电流 |
30ARMS |
| 最大负荷电压 |
7000VRMS |
| 传输效率 |
>94% |
| 负载阻抗 |
50Ω |
| RF输入连接器 |
50 Ω, UHF（或N-type）, female |
| 最大等离子直流偏置电压 |
0 to 2.000 VDC |
| 直流偏置电压检测值 |
0~5VDC |
| 匹配时间 |
3~5s |
| 主电感 |
8圈 |
| 主电容 |
真空电容 |
| 可匹配阻抗实部范围 |
0~80Ω |
| 可匹配阻抗虚部范围 |
-j200~~+j100 |
| RF输入连接器 |
50 Ω, UHF（或N-type），可自定制 |
| 接口与冷却方式 |
| 控制接口 |
自动手动控制窗口 |
| 冷却方式 |
风冷 |
| 风流量 |
24CFM |
| 电源 |
| AC电源 |
220VAC |
| AC频率 |
50/60Hz |
| 电源功率因素 |
90%(最大功率时) |
| 机械特性 |
| 表面安装螺丝 |
6-32螺丝 |
| 重量 |
5kg |
| 尺寸 |
430mm（D）x220mm（W）x130mm（H），或可自定制
|
|
 |
|
