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射频电源
太阳能逆变器
射频自动匹配器
射频功率分配器
精密机械加工件
信号频率
13.56 MHz±0.005%
功率输出范围
20W-2000W
最大反射功率
400W
射频输出接口
50 Ω, 7/16 type, female
功率稳定度
±0.1%
谐波分量
≤-45dbc
供电电压
单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
整机效率
>=70%
功率因素
>=90%
冷却方式
强制风冷
整机重量
32kg
整机尺寸
132 mm (H)×483 mm (W)×552 mm (D) 5.2" (H)×19" (W)×21.7" (D)
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