1、自动匹配器能与国内电源配合使用吗?
可以配合使用,自动匹配器的匹配范围与国内手动匹配器的范围一致并能超过此范围,因此配合国内电源使用在真空系统中没有问题。
2、自动匹配器的可靠性怎么样?
我们公司有多年的匹配器生产经验,有完善的ISO质量控制体系保证了出货产品的质量与可靠性。
3、什么是射频(Radio Frequency)?
射频(Radio Frequency)也叫无线电频率,中国无线电频率划分规定:30KHZ-300KHZ为低频(LF),300KHZ-3MHZ为中频(MF),3MHZ-30MHZ为高频(HF),30MHZ-300MHZ为甚高频(VHF)。
4、什么是射频电源?
射频电源(RF Power)又叫射频发生器(RF Generator),它是一种能量转换装置,实现将低频(50HZ/60HZ)的交流市电转换为射频信号输出。
5、射频电源的整机架构?
射频电源一般由3大部分组成:供电部分、射频部分、整机控制部分。
6、射频电源中各部分的功能?
a、供电部分:实现交流(50HZ/60HZ)市电到整机所需的各种直流电压的转换。
b、射频部分:实现供电部分的直流电能到射频信号的转换。
c、整机控制部分:实现人机交互功能,通过前面板的按键/开关操作,使设备执行有关的命令和要求,从而控制设备的运行。
7、射频电源的应用范围?
主要应用于:a、真空镀膜;b、等离子设备清洗;c、半导体刻蚀。
8、射频电源有哪些重要参数?
重要参数有:a、频率稳定性;b、输出功率范围;c、最大反射功率保护;d、最大谐波分量;e、整机效率;f、整机重量。 |