VENA®射频自动匹配器
 VENA系列自动匹配器用于0-1500W的真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺；目前国内主要真空设备厂家的产品大多使用手动匹配器，使用起来十分不便，在设备启动后抽真空加功率起辉过程中，要不断地调整手动匹配器的阻抗而使输出达到工艺的要求，而自动匹配器则可以弥补这一缺陷，具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。产品覆盖500W, 1000W, 1500W等功率。
特点与优势：
| 优势 |
特点 |
1、性能安全可靠，长时间工作稳定
2、实时反射功率测量与控制
3、优化的设计，安装、使用与维修均十分简便
4、匹配范围广，适用于复杂多变的负载系统
5、传输效率高
6、运行噪声小
7、屏蔽效果好
8、严格的可靠性测试
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1、加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
2、优化的匹配算法加速匹配时间
3、最大限度地减少驻波比与反射功率
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